:
:                        Path = "c:\\Temp\\"+ DataModule2->Master->FieldByName("Id")->AsString;
:                        DeleteFile(Path);

   if (FileExists(Path))
      if(DeleteFile(Path)==false)
      {
        // Error 처리
      }
   else
   {
     // Error 처리
     ShowMessage("화일이 없습니다.");
   }

화일은 존재하는데 에러가 발생한거라면..
에러관련 API인
GetLastError()를 이용하면 왜 삭제가 안됐는지 알수 있습니다.
자세한건 도움말 보시면서 해보세요. ^^